洁净室的构成是由下列各项系统所组成(在所组成的系统分子中是缺一不可的),否则将无法构成一完整且品质---的洁净室。(1)---系统:包括吊杆(ceiling rod)、钢梁(i-beam或u-beam)、---格子梁(ceiling grid或ceilingframe)。(2)空调系统:包括空气舱、过滤器系统、风车等。(3)隔墙板(partitional wall):包括窗户、门。(4)地板:包括高架地板或防静电舒美地板。
进入洁净区的空气,经过初效(又称粗效)、中效、三级过滤器过滤,使空气达到所要求的洁净级别。由于过滤器可以滤除<1μm(微米)的尘埃粒子,对---的穿透率为10-6,所以通过过滤器的空气,可视为无菌。
优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
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