优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
就洁净室,尤其是半导体工业洁净室而言,其负荷特点是:由于排风量大造成新风量大,故新风处理所需冷量消耗大;送风量大,输送动力消耗大,风机管道温升高;生产设备的---量大,消耗冷量大。这三项负荷之和一般占总负荷的70%~95%。
工作台就设在“隧道内”。按受控粒子的性质划分(1)工业洁净室:受控粒子为尘埃等非生物粒子的洁净室。(2)生物洁净室:受控粒子为生物粒子的洁净室。实现洁净度要求的通风措施编辑洁净室要达到洁净等级,必须有综合措施。
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